Чемшунглинозем пластинасын жылтыратуу пластинасы/айланма стол жогорку тазалыктагы 99,7-99,9% глиноземден жасалган. Жогорку тазалыктагы глинозем керамикасы пластинаны жылтыратуу үчүн өзгөчө катуулукка жана эң сонун эскирүүгө туруктуулукка ээ жана узак убакыт бою жакшы беттик формасын сактайт. Ал PIBM менен формага келтирилген. Ал теңдешсиз жылуулук жана өлчөмдүк туруктуулугу жана катуу микрочип иштетүүчү жабдуулардын чөйрөлөрүнө туруктуулугу менен жарым өткөргүчтөр тармагынын мүчөсү болуп саналат.
Химиялык-механикалык тегиздөө (ХМП), ошондой эле Химиялык-механикалык жылтыратуу деп да аталат, бул жарым өткөргүч түзүлүштөрдү өндүрүү процессиндеги технология. Ал иштетүү учурунда кремний пластиналарын же башка субстрат материалдарын тегиздөө үчүн химиялык коррозияны жана механикалык күчтөрдү колдонот.
CMP жабдуулары негизинен эки бөлүккө бөлүнөт: жылтыратуу бөлүгү жана тазалоочу бөлүк. Жылтыратуу бөлүгү 4 бөлүктөн турат, атап айтканда, 3 жылтыратуу айланма дөңгөлөк жана пластинаны жүктөө жана түшүрүү модулу. Тазалоочу бөлүк пластинаны тазалоо жана кургатуу үчүн жооптуу болуп, пластинанын "кургап кириши жана кургашы" камсыз кылынат. Жылтыратуу жабдууларынын жалпысында алюминий кычкылынын керамикасы маанилүү ролду ойнойт.
Алюминий кычкылдуу керамика көбүнчө пластина жылтыратуу дисктерин даярдоо үчүн колдонулат, алар жогорку тазалыкты, жогорку химиялык бышыктыкты жана беттин формасын жана оройлугун жакшы көзөмөлдөөнү талап кылат.
Chemshun 99.7% Al2O3 керамикалык майдалоочу диск алдыңкы керамикалык материалдардан жасалган, ал ар кандай материалдарды, айрыкча пластиналар, керамика жана айнек сыяктуу морт материалдарды майдалоого ылайыктуу. Биздин керамикалык майдалоочу диск ар кандай майдалоо жана жылтыратуу моделдерине ылайык ар кандай өлчөмдө жасалышы мүмкүн.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 30-майы