Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө материалды тандоо процесстин сапаты жана продукциянын иштеши үчүн абдан маанилүү. 99,7% алюминий кычкылынан жасалган керамикалык пластина жылтыратуу пластинасы жогорку натыйжалуу керамикалык материал катары жарым өткөргүч өнөр жайында кеңири колдонулат, анткени алардын өзгөчө физикалык жана химиялык касиеттери бар. Бул макалада төмөнкүлөрдүн мүнөздөмөлөрү каралат99,7% алюминий кычкылынан жасалган керамикалык пластина жылтыратуу пластинасыжана алардын жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдөгү маанилүү ролу.
1. 99,7% глинозем керамикасынын касиеттери
99,7% глиноземдик керамика – бул негизинен α-глиноземден (Al₂O₃) турган жогорку тазалыктагы материал. Анын негизги касиеттери төмөнкүлөрдү камтыйт:
Жогорку тазалык:99,7% глиноземдин курамы химиялык туруктуулукту камсыз кылат, жарым өткөргүч процесстериндеги булгануу коркунучун азайтат.
Жогорку температурага туруктуулук:1600°C жогору температурада туруктуу, бул диффузия, кычкылдануу жана химиялык буу чөктүрүү (ХБЧ) сыяктуу жогорку температурадагы процесстер үчүн идеалдуу кылат.
Коррозияга туруктуулук:Кислоталарга, щелочторго жана дат басуучу газдарга туруктуу, оюу жана тазалоо процесстеринде иштөөнүн туруктуулугун сактайт.
Жогорку катуулук жана эскирүүгө туруктуулук:Мыкты катуулук узак убакыт бою колдонууда минималдуу эскирүүнү камсыз кылат жана кызмат мөөнөтүн узартат.
Жогорку сапаттагы изоляция:Эң сонун электрдик изоляция касиеттери электрдик изоляцияны талап кылган чөйрөлөргө ылайыктуу.
2. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө колдонулушу
99,7% алюминий кычкылынан жасалган керамикалык пластинаны жылтыратуу пластинасы жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө маанилүү ролду ойнойт, анын ичинде:
Вафли менен иштөө:Литография, оюу жана жука пленка менен чөктүрүү учурунда пластиналарды бекитүү жана колдоо үчүн колдонулат, жогорку температурадагы жана коррозиялык чөйрөдө туруктуулукту камсыз кылат.
Жогорку температурадагы процесстер:Диффузиялык мештерде жана CVD жабдууларында жылуулук соккуларына туруштук берет, пластинанын деформациясын алдын алуу үчүн өлчөмдүү туруктуулукту сактайт.
Оёп жана тазалоо:Коррозияга туруктуу иштөө плазмалык оюу жана күчтүү кислоталар же щелочтор менен нымдуу тазалоо процесстеринде бышыктыкты камсыз кылат.
Таңгактоо жана сыноо:Чипти таңгактоо жана сыноо үчүн туруктуу платформаны камсыз кылат, бул процесстин тактыгын камсыз кылат.
3. Артыкчылыктары жана кыйынчылыктары
99,7% алюминий кычкылынан жасалган керамикалык пластинаны жылтыратуу плитасынын артыкчылыктары алардын жогорку тазалыгында, жылуулук туруктуулугунда жана коррозияга туруктуулугунда жатат, бул жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн катуу талаптарына жооп берет. Бирок, кыйынчылыктарга татаал өндүрүш процесстери, жогорку чыгымдар жана беттин тегиздиги жана өлчөмдүү тактыгы үчүн катуу талаптар кирет, бул өндүрүш үчүн техникалык тоскоолдуктарды жаратат.
4. Келечекке болгон көз караш
Жарым өткөргүч технологиясы өнүккөн сайын, керамикалык лотоктордун иштөө талаптары жогорулай берет. Келечектеги иштеп чыгуулар жылуулук өткөрүмдүүлүгүн, механикалык бекемдигин жана чыгымдардын натыйжалуулугун жогорулатуу үчүн материалдарды модификациялоого жана өндүрүш процесстерин оптималдаштырууга багытталышы мүмкүн, бул кийинки муундагы жарым өткөргүчтөрдү жасоонун муктаждыктарын канааттандырат.
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 7-марты