Жарым өткөргүчтөр өнөр жайынын тез өнүгүшү менен тармактын масштабы тездик менен өсүп, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдуулар тактыкка жана татаалдыкка карай өнүгүп келе жатат. Керамика жогорку катуулук, жогорку серпилгичтик модулу, жогорку эскирүүгө туруктуулук, жогорку изоляция, коррозияга туруктуулук, аз кеңейүү ж.б. сыяктуу артыкчылыктарга ээ болгондуктан, аны кремний жылтыраткыч машинанын, эпитаксиалдык/кычкылдануу/диффузиялык жылуулук менен иштетүүчү жабдуулардын, литография машинасынын, чөктүрүүчү жабдуулардын, жарым өткөргүчтөрдү оюучу жабдуулардын, ион имплантациялоочу машинанын жана башка жабдуулардын бөлүктөрү катары колдонсо болот, ошондуктан так керамикалык тетиктерди изилдөө жана иштеп чыгуу жана өндүрүү жарым өткөргүчтөр өнөр жайынын өнүгүшүнө түздөн-түз таасир этет. Аны даярдоонун техникалык талаптары барган сайын жогорулап баратат.
Жогорку тазалыктагы алюминий кычкылы, 99,7%-99,9% алюминий кычкылы.
Жогорку механикалык бекемдик, жогорку эскирүүгө туруктуулук, жогорку электрдик изоляция, жогорку химиялык туруктуулук, жакшы жылуулукка жана коррозияга туруктуулук. Учурда керамикалык майдалоочу дисктүү майдалоочу жарым өткөргүч кремний пластинасын колдонуу эң мыкты жана заманбап майдалоо ыкмасы болуп саналат. Кесилген кремний пластинасын майдалоо үчүн эки тараптуу майдалоо процесси колдонулат жана майдалоочу пластинанын сапаты майдалоо процессин жакшыртуу менен жакшыртат (диск материалы, майдалоочу суюктук, майдалоо басымы жана майдалоо ылдамдыгы ж.б.). Атап айтканда, чоюн пластиналардын ордуна керамикалык пластиналарды колдонуу, пластинанын негизги бетинде тырыктардан же булгануудан улам майдаланууну болтурбоо, металл иондорунун киришин азайтуу, кремнийди андан ары иштетүүнү кыскартуу, андан кийинки процесстин (коррозия) убактысын кыскартуу, өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатуу жана кремнийди иштетүүдөгү жоготууларды азайтуу, кремнийди пайдаланууну бир топ жакшыртат.
Жогорку алюминий кычкылынан жасалган пластинаны жылтыратуу пластинасыжарым өткөргүч, мунай, химиялык, фотоэлектрдик, суюк кристалл жана башка тармактарда, мисалы, механикалык тетиктерде, электрондук тетиктерде, микротолкундуу индукциялык дискте, изоляциялык материалдарда жана башка тетиктерде, жарым өткөргүч түзүлүштөрдө, вакуумдук жабдууларда, суюк кристалл өндүрүүчү жабдууларда жана башка тетиктерде колдонулат. Чоң өлчөмдөгү жана жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынан жасалган керамика сапфир өнөр жайында жана жарым өткөргүч чиптер өнөр жайында маанилүү колдонмо мааниге ээ. Ал сапфир жана жарым өткөргүч кремний пластиналарын химиялык механикалык жылтыратуу (ХМЖ) үчүн негизги таяныч жана керектелүүчү буюм болуп саналат. Чоң өлчөмдөгү жана жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынан жасалган керамика LCD үчүн алюминий кычкылынан жасалган субстрат катары да колдонулушу мүмкүн.
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 27-июну